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[零组件/半导体]揭秘Intel 10nm工艺:晶体管密度比肩台积电/三星7nm [复制链接]

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在线shuszhao
 

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提示:会员销售的附件,下载积分 = 版块积分 + 销售积分       只看楼主 倒序阅读 使用道具 0楼 发表于: 2018-06-15
O~F/{: U  
gv$6\1  
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Intel的技术真的不行了?显然不是。虽然都叫xxnm,但是对比之下,Intel无疑是最为严谨的,一直在追求最高的技术指标,也正因为如此再加上半导体工艺难度急剧增加,Intel 10nm才一直难产。 &RP!9{F<  
Intel 14nm工艺已经连续用了三代,还要再用一次,10nm则因为良品率始终无法达到满意程度而一再推迟,现在跳票到了2019年,而且上半年还是下半年Intel自己都不确定。相比之下,台积电、三星已经开始量产7nm,GlobalFoundries 7nm也不远了。 *%_:[>  
Intel的技术真的不行了?显然不是。虽然都叫xxnm,但是对比之下,Intel无疑是最为严谨的,一直在追求最高的技术指标,也正因为如此再加上半导体工艺难度急剧增加,Intel 10nm才一直难产。 un0t zz  
目前,Intel 10nm处理器已经小批量出货,已知产品只有一款低压低功耗的Core i3-8121U,由联想IdeaPad 330笔记本首发。 B$qmXA)ze  
TechInsight分析了这颗处理器,获得了一些惊人的发现,直接证实了Intel新工艺的先进性。 Q#P=t83  
i3-8121U内核局部显微照片 %\PnsnJ9Q  
分析发现,Intel 10nm工艺使用了第三代FinFET立体晶体管技术,晶体管密度达到了每平方毫米1.008亿个(符合官方宣称),是目前14nm的足足2.7倍! z52T"uW  
作为对比,三星10nm工艺晶体管密度不过每平方毫米5510万个,仅相当于Intel的一半多点,7nm则是每平方毫米1.0123亿个,勉强高过Intel 10nm。 x' *,~u  
至于台积电、GF两家的7nm,晶体管密度比三星还要低一些。 e&Z}struE  
换言之,仅就晶体管集成度而言,Intel 10nm的确和对手的7nm站在同一档次上,甚至还要更好! *A}QBZ  
另外,Intel 10nm的最小栅极间距(Gate Pitch)从70nm缩小到54nm,最小金属间距(Metal Pitch)从52nm缩小到36nm,同样远胜对手。 "8 |y  
事实上与现有其他10nm以及未来的7nm相比,Intel 10nm拥有最好的间距缩小指标。 ?z0f5<dL  
Intel 10nm的其他亮点还有: J7X-=E D  
- BEOL后端工艺中首次使用了金属铜、钌(Ru),后者是一种贵金属- BEOL后端和接触位上首次使用自对齐曝光方案(self-aligned patterning scheme)- 6.2-Track高密度库实现超级缩放(Hyperscaling)- Cell级别的COAG(Contact on active gate)技术当然了,技术指标再先进,最终也要转换成有竞争力的产品,才算数。 ?Z%Ja_}8ma  


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