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yL%6! ~ "<AYJlO 为什么晶圆不是方的？。是啊，圆形的wafer里面方形的Die，总是不可避免有些空间浪费了… {V> >a 有同学在微信公众号向我提了个很好的问题：“为什么晶圆不是方的？”。是啊，圆形的wafer里面方形的Die，总是不可避免有些空间浪费了： q qm7p
,j  &&N]u e@> 黑色的区域浪费有点可惜，如果是方的不是正好全部用上吗？对于这个问题，我的回答就是：“因为叫做晶圆不叫做晶方！” b*-g@S 嘻嘻，开个玩笑，不过严肃说起来晶圆并不是完全的圆形，你看到的晶圆是这样的： 7?@s.Sz|fV  1gq(s2 izy 为什么我知道的晶圆是这样的？ MjO.s+I  0?D`|x_ 或是这样的： ?m)3n0Uh  |.A#wjF9 G0Q8"] ` |p3@e 为什么晶圆是圆形的？ ^ Vl{IsY IF<?TYy=3B 因为制作工艺决定了它是圆形的。因为提纯过后的高纯度多晶硅是在一个子晶(seed)上旋转生长出来的。多晶硅被融化后放入一个坩埚(Quartz Crucible)中，再将子晶放入坩埚中匀速转动并且向上提拉，则熔融的硅会沿着子晶向长成一个圆柱体的硅锭(ingot)。这种方法就是现在一直在用的CZ法(Czochralski)，也叫单晶直拉法。如下图： cx]&ae * 
vOb=> 然后硅锭在经过金刚线切割变成硅片： Iz'*^{Ssm  O-rHfIxY 在经过打磨等等处理后就可以进行后续的工序了（CPU制造的那些事之一：i7和i5其实是孪生兄弟！？） VA9"
Au 单晶直拉法工艺中的旋转提拉决定了硅锭的圆柱型，从而决定晶圆是圆形的。 L-7? : ogt<vn g ;&|MNN^ 为什么后来又不圆了呢？ `" N56
f' hrS}e 那为啥后来又不圆了呢？其实这个中间有个过程掠过了，那就是Flat/Notch Grinning。 faqOGAb  CzP?J36W ^ 它在硅锭做出来后就要进行了。在200mm以下的硅锭上是切割一个平角，叫做Flat。在200mm（含）以上硅锭上，为了减少浪费，只裁剪个圆形小口，叫做Notch（参考资料2）。在切片后晶圆就变成了这样： &E0d{ 2  S4/CL4= 如果你仔细看我的第一个图，你也会发现它其实是有缺一个小豁口的。 ZK =`Y@ 为什么要这样做呢？这不是浪费吗？其实，这个小豁口因为太靠近边缘而且很小，在制作Die时是注定没有用的，这样做可以帮助后续工序确定Wafer摆放位置，为了定位，也标明了单晶生长的晶向。定位设备可以是这样： aCu 8
D!  !d@q T. 这样切割啊，测试啊都比较方便。 o6 JCy\Bx n
H)6mO Yp X.u&4 SH 结论 V%F^6ds$]0 J{W <6AK\S 严格意义上所有的Wafer都不是圆形的。如果忽略Flat/Notch这些小问题，那它的圆形是工艺决定的。 _9%R
U " 3b1;f)t F iZe4{(p 后记 RAw /Q$I xgw[)!g^\ 哈哈，彩蛋来了。其实是有方形的Wafer的： `)s C".b7
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|@sw4 你们知道它是干什么的吗？为什么可以是方的吗？ -+^E5
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