将芯片节点缩小至 1nm 以下：彭博社对话 IMEC CEO

似水流年

将芯片节点缩小至 1nm 以下：彭博社对话 IMEC CEO



近日，比利时微电子研究中心（IMEC）发布了 1nm 工艺下金属互连的新方法，解决了 1nm 节点互连发热问题。
事实上，IMEC 已经成为了全球半导体生态中的重要一环，在先进制程工艺的开发中有着举足轻重的地位，和美国英特尔、IBM 并称微电子领域“3I”。
而随着全球开始关注半导体问题，IMEC 由于其重要性也受到了越来越多的关注。在上个月白宫对美国供应链的评估中，IMEC 和荷兰光刻机厂商 ASML 一并出现在了报告中。用一位业内人士的话说，IMEC 是一个很少有人知道，但是每个人都应该知道的地方。
彭博社也对 IMEC 的首席执行官 Luc Van den hove 进行了采访，以下是媒体在不改变原意前提下进行的编译。

                               
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▲ IMEC 首席执行官 Luc Van den hove（来源：彭博社）

一、中试线工艺超 5nm 2-3 代，价值超 25 亿欧元
1984 年，几位比利时的大学教授向比利时弗拉芒大区政府提议，建设一个微电子研究中心，解决高校科研和产业脱节的问题。
弗拉芒大区政府很快就同意了这一建议，投入了价值 6200 万欧元的比利时法郎，建立了 IMEC。一开始，IMEC 的资金大多由政府提供。
很快，IMEC 设计出一种新的合作模式，也就是 IMEC 工业联盟项目（IIAP）。在这样的合作模式下，厂商需要向 IMEC 提供入会费和年费。入会后，厂商就可以与 IMEC 合作开发技术。项目中，IMEC 掌握研发决策权与各方信息，但是各家厂商也可以向 IMEC 提出自己的质疑，纠正其决策错误。
而在 IMEC 和英特尔、台积电、三星电子、应用材料等 IC 供应链巨头达成了合作关系后，政府拨款占比逐步降低。如今，IMEC 75% 的资金来自于这些 IC 供应链厂商，有超过 4500 名员工，是全球最重要的微电子研究机构之一。
因为有了众多厂商的参与与资金支持，IMEC 拥有 1 条 200mm（8 英寸）和 1 条 300mm（12 英寸）晶圆中试线。其中 300mm 中试线配备有 EUV 光刻机等最先进的设备，价值 25 亿欧元（约合 30 亿美元，210 亿人民币），比台积电、三星电子量产的 5nm 工艺领先 2 到 3 代，让 IMEC 的研究人员可以研究 2nm 及以下的节点工艺。
今年 5 月份，英特尔首席执行官 Pat Gelsinger 评价 IMEC 和 ASML 是欧洲的 2 颗宝石。

                               
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▲ IMEC 洁净室中有着应用材料、泛林半导体、ASM、ASML 等最先进的半导体设备（来源：IMEC）

二、专注芯片节点演进，曾联手华为、中芯国际、高通研发先进制程
近年来，随着芯片制程工艺的不断发展，摩尔定律正在逐渐失效。很多国家都在研发氮化镓（GaN）、碳化硅（SiC）、氧化锌（ZnO）和金刚石等宽禁带半导体。
IMEC 的首席执行官 Luc Van den hove 则认为，这类半导体的市场有限：“我们相信硅是完美的平台。”而 IMEC 会继续将芯片节点缩小到 1nm 以下。
对于芯片技术的前景，Luc Van den hove 则认为这将为很多行业带来发展。此外，IMEC 在人工智能、物联网、生命科学等领域也有着较强的研发实力。Luc Van den hove 谈到生命科学中的一些应用将会在 5 年内带来“巨大的繁荣”，通过结合这些前沿技术，人们可以做到一些非凡的事情。
IMEC 此前也与中国公司、机构进行过一系列合作。2015 年，IMEC 与中芯国际、华为、高通四家公司宣布共同投资中芯国际集成电路新技术研发（上海）有限公司，开发下一代 CMOS 逻辑工艺；今年 2 月，IMEC 还成为了无锡半导体行业协会的会员单位。

                               
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▲ IMEC 洁净室（来源：彭博社）

三、受美国重点关注，IMEC CEO 称需保持冷静
IMEC 强大的研发能力也吸引了美国的注意。
新美国安全中心（Center for a New American security）技术和国家安全项目主任 Martijn Rasser 称，在美国政府与欧盟所建立的科技联盟中，IMEC 可能会是其中的重点。
美国中情局（CIA）的前技术和创新工作人员也提到，由于 IMEC，其所在的比利时鲁汶成为了政治人士和行业所关注的中心。

                               
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▲ 从 IMEC 大楼看鲁汶市区（来源：彭博社）

Luc Van den hove 就此事透露，IMEC 正在就此事进行讨论。因为 IMEC 渴望“以积极的方式推动行业发展，所以无论 IMEC 能够做什么来支持（行业发展），都会接受这些讨论”。
不过这也引发了一些技术上的盗窃行为。Luc Van den hove 称，IMEC 遇到过一些员工不按照其行为准则和价值观行事的案件。他补充道，这样的现象并不局限于任何一个国家。
Luc Van den hove 提到，IMEC 当前研究能力并没有因为政治压力而受到损害，“但是我们也必须面对现实，接受地缘政治紧张局势正在加剧的事实。”
虽然如此，Luc Van den hove 说，各类前沿技术仍将带来巨大的机会，保持冷静非常重要。

                               
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▲ Luc Van den hove 手持晶圆（来源：彭博社）

结语：IMEC 成功关键在于合作、中立
IMEC 作为半导体制程的重要参与者，其成功的原因之一就是开放、中立的国际合作模式。在这样的模式下，IMEC 推动整个半导体行业的发展，也汇聚了包括中国在内的全球各国技术人才。
而在当前较为紧张的地缘政治下，美国等对其所施加的政治压力，如果影响到了其中立的立场，或许将会动摇 IMEC 立身之本。

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