检查和测试也有问题。光学检测缺乏发现所有问题的分辨率,而另一种使用中的技术,如在电子显微镜中用电子束扫描电路,具有分辨率但缺乏制造线所需的速度。另一种技术,X 射线衍射,用于实验室;这与 1952 年用于确定 DNA 结构的想法基本相同。一束紧密的 X 射线,其波长为 EUV 的十分之一,以不同的角度穿过晶圆;可以分析通过不同电子密度区域时形成的衍射图案以揭示结构。尽管具有很高的精度,但可用于具有隐藏特征的 3D 系统,以及具有高度规则结构的内存等系统的特殊应用,由于成本、尺寸和速度不足,目前无法用于实验室生产线。与电子束检测一样,正在努力创建多束工具的工作正在进行中。