媒体称我国多晶硅生产工艺有了革命性进步 - 电工杂谈 -

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来源:中国化工报  时间：2009-11-25

　　11月18日，河北英利集团对外宣布，旗下六九硅业有限公司多晶硅一期项目首次采用新硅烷法生产多晶硅，使我国多晶硅生产工艺有了革命性的进步。

　　据六九硅业有限公司生产部副经理康谭介绍，与国内大多数多晶硅生产厂家不同，该项目首次采用的新硅烷法生产多晶硅，具有其他传统工艺方法无可比拟的节能、环保等巨大优势。新工艺生产中不产生难处理的四氯化硅等废弃物，同时综合耗电可降低38%，生产成本降至28美元/千克左右，大大低于行业平均水平;产品纯度最高可达到9N(99.9999999%)以上，超出了光伏企业产品纯度达6N的要求。

　　据了解，目前行业内生产多晶硅主要有两大工艺路线：改良西门子法和硅烷法。国内大多数厂家采用了前者。然而，该方法生产过程中，会排出四氯化硅、氯化氢等尾气，其工艺虽然已经从第二代逐渐升级到第三代，但四氯化硅处理的核心技术不在国内，且成本高昂。而新硅烷法最大特点就是采用闭环生产，不对环境造成污染。生产中不产生四氯化硅，并且采用3种回收工艺，分别将副产物氟化铝钠、氢气、硅烷加以回收，用作原料投入再生产，最终生成高纯的多晶硅和硫酸盐两种产品。业内有关人士评价，对国内整个光伏产业而言，新硅烷法提供了一种新的工艺路线，对国内多晶硅产业的影响将是革命性的。

　　据六九硅业有限公司技术部经理蔡春立介绍，六九硅业厂区内的尾气回收系统所占面积几乎相当于生产准备区。系统每小时可回收氢气53.6千克，回收的氢气将用于氢化铝钠生产，年可节约1336万元;液氮气化回收3.76万吨，年节约1000多万元;CVD反应器余热产生的蒸汽每小时可达1668立方米，循环回收利用年可节约资金3807万元。

　　目前，六九硅业有限公司多晶硅3000吨项目已经开始试车，多晶硅反应器的热油系统、四氟化硅制备区的热烘循环系统等均已启动，两大关键部位目前运转正常，年底可试生产。