兼具MEMS和光子传感器优势的微光机械（MOMS）技术

shuszhao

目前业内主要有两大类先进的压力传感器：MEMS传感器和光子传感器。基于MEMS技术的压力传感器具有类似的机械检测原理（膜的形变），但改变的是电学特性。凭借它们的小型化和性能，MEMS压力传感器在汽车、医疗、高度和深度测量以及流量传感等领域的应用已经很成熟。
2017年底，欧洲微电子研究中心（imec）推出了基于MOMS（微型光机械系统）技术的压力传感器。本质上来说它是一种将膜片（微米级）的机械运动转换为光学信号的传感器。其工作原理为：先在膜片上构建光学电路，例如长波导；膜片受到压差刺激产生形变，改变光学电路的特性，例如从长波导出射的光的相位；然后通过光学读出该相移，从而确定最初施加到传感器上的压力。

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承载光波导的膜的形变引起光波的相移，从而计算施加的压力

MOMS传感器有哪些应用？
目前业内主要有两大类先进的压力传感器：MEMS传感器和光子传感器。基于MEMS技术的压力传感器具有类似的机械检测原理（膜的形变），但改变的是电学特性。凭借它们的小型化和性能，MEMS压力传感器在汽车、医疗、高度和深度测量以及流量传感等领域的应用已经很成熟。

光子传感器应用了穿过被拉伸材料时光波的变化特性。由于其更高的灵敏度和更低的噪音，它们很受欢迎，但无法用于微型化和集成系统。凭借MOMS技术，imec开发的传感器具有与光子传感器相同的性能以及MEMS传感器的小尺寸，具有极高的精度、线性度和宽动态范围，结合了上述两种技术的优势。

可用于最苛刻的应用
得益于MOMS技术的多方面优势，imec看到了应用潜力。首先，传感器中微小的机械形变可以引起大的光学效应，从而带来高灵敏度；其次，MOMS传感器不含金属，这使它们特别适合医疗应用，例如，能够与MRI等磁共振系统兼容；此外，它们的生物相容性已经得到证实，因此它们可以用于人体植入，例如颅内压检测等。

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imec开发的MOMS传感器具有抗辐射和生物相容性，因此非常适合医疗应用

MOMS传感器的另一个优势是机械运动和光学读出是分离的，并且与电流无关。这使得MOMS器件抗辐射并且对电磁干扰不敏感。至少同样重要的是，这可以实现大规模多路复用：通过光学总线并行读取数量空前的传感器，而不需要集成的支持电子元件。imec正在对接产业界，共同寻找需要这种性能的杀手级应用。例如，现在畅想的具有数千个集成MOMS传感器的手术手套，可用于肿瘤的触觉检测。

日益普及
不过，MOMS技术并不是一项全新的技术。第一篇参考文献甚至可以追溯到上个世纪九十年代。尽管如此，MOMS技术仍处于起步阶段。主要是因为相较传统的光子传感器，MOMS器件需要先进的微型化和工艺技术才能发挥其全部潜力。因此，近年来MOMS的普及同步于光子学领域的加速发展并非巧合。

至少，在imec的情况确实如此，imec数年前开始研究MOMS，结合了imec强大的氮化硅（SiN）光子学平台和在MEMS技术领域的专业积累。同时，在imec试验产线中MOMS有自己的工艺，基于低温SiN沉积（PECVD）和200 mm深紫外（UV）光刻。这种级别的工艺整合提高了传感器的品质，而且还可以对光学成像器进行后处理。不过，imec的MOMS传感器性能的最大提升源自其设计。

智能系统设计
MOMS压力传感器设计通常是基于Mach-Zehnder干涉仪（MZI）或环形谐振器。imec的MZI设计采用了一种巧妙的方法，得益于环路的数量和形状，它们的范围更广。

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经典MZI设计

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imec的新设计（设计方案和实物照片），其中不同形状的多个环路可以在很宽的范围内实现高灵敏度

添加环路可以提高传感器的灵敏度，但会降低其明确的测量范围。因此，imec的设计将短螺旋波导（单环）和长螺旋波导整合在一个薄膜上。通过巧妙地整合来自两个波导的信号，imec的MOMS传感器能够保持高灵敏度和宽范围。首批测量表明，在超过100 kPa的范围内其标准偏差小于1 Pa，这与商用传感器相近，但没有MEMS传感器的电磁敏感度，并且比典型的光子传感器尺寸更小。

wangy2000

好文章，看过。谢谢分享。

郑先生

zengfanlong