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[paragraph]突发!ASML断供中芯国际,是怕美国不开心?
11月7日消息,据外媒报道,荷兰半导体设备供应商阿斯麦尔(ASML)将暂时停止向芯片制造商中芯国际供应EUV极紫外线微影设备。
有消息人士透露称:“ASML是为了避免因供应最先端设备给中国、因而刺激到美国,因此决定暂时中止交货”。消息人士还补充表示:“但与此同时,ASML不想让中国客户感到不安,因为那里是其增长最快的市场。”
所谓的EUV极紫外线微影设备,是使用通称极紫外线之极短波(13.5nm)光线的微影技术,能加工至既有ArF 准分子雷射光微影技术不易达到之20nm 以下的精密尺寸。不但能降低晶圆制造时光罩使用数量,以降低生产成本,并提高生产良率,也因能加工过去ArF 准分子雷射光微影技术不易达到的20nm 以下之精密尺寸,更有助半导体产业摩尔定律(Moore's law)再往下延伸,让半导体产业发展持续精进。
目前,ASML是EUV极紫外线微影设备的独家制造商,ASML营收占比中,有超过一半来自中韩两国,中芯国际更是其在华主要客户。去年4月份,中芯国际向ASML订购的EUV光刻机原定于2019年底交付,到2020年中期完成安装,如今遇上停止断供一事,无疑是两败俱伤的行为。
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