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[零组件/半导体] 中芯国际从荷兰进口光刻机顺利进入深圳厂

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    据羊城晚报报道,3月4日上午,中芯国际集成电路制造(深圳)有限公司从荷兰进口的大型光刻机顺利通过出口加工区场站两道闸口进入厂区。
    深圳海关已全面推广进出口货物“提前申报”通关模式,进口覆盖所有企业,出口只要是一般信用以上企业都可以按“提前申报”模式报关。截至3月4日,深圳出口加工区内企业复工复产率已达90%。
    据悉,这台机器主要用于企业复工复产后的生产线扩容。

    据羊城晚报报道,中芯国际公司关务经理罗荣慧介绍,坪山海关一系列服务措施,保障了设备第一时间进入厂区完成安装进入生产,生产线扩容后全年预计可为企业增加10%左右的营收。
    对于半导体产业内的人士来说,光刻机是半导体产品制造最重要的设备,被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”,制造和维护均需要高度的光学和电子工业基础。光刻机工作原理跟照相机类似,不过它的底片是涂满光刻胶的硅片,各种电路图案经激光缩微投影曝光到光刻胶上,光刻胶的曝光部分与硅片进行反应,将其永久刻在硅片上,这就是芯片生产最重要的步骤。
    目前全世界最先进工艺的光刻机垄断集中在荷兰ASML、日本佳能、尼康手里。
    3月6日,中芯国际对外表示,此次设备为正常导入,用于产能扩充,并非外界所称的EUV光刻机。当天下午2时30分左右,中芯国际港股突然拉升,股价翻红一度涨逾3%。
    《电子工程专辑》近期密集报道了中芯国际斥资扩产的新闻:
    中芯国际宣布采购美国泛林半导体设备,扩大14nm量产
    继续扩产!中芯国际11亿美元购买应用材料、东京电子半导体设备
    根据中芯国际近期发布的公告,其已经花费17亿美元分别向泛林团体、应用材料、以及东京电子购买半导体设备。其中向泛林团体发出的购买单总金额约6亿美元;应用材料购买单的总金额为5.43亿美元,东京电子购买单总金额应用材料购买单的总代价为5.43亿美元。
    2018年5月,中芯国际曾向荷兰ASML订购了一台最新型的EUV光刻机,价值高达1.5亿美元,原计划在2019年初交付。
    不过,由于美国方面阻扰,这项交易至今仍未完成。
    资料显示,中芯国际总部位于上海,拥有全球化的制造和服务基地。在上海建有一座300mm晶圆厂和一座200mm晶圆厂,以及一座控股的300mm先进制程晶圆厂在建设中;在北京建有一座300mm晶圆厂和一座控股的300mm先进制程晶圆厂;在天津和深圳各建有一座200mm晶圆厂;在江阴有一座控股的300mm凸块加工合资厂。
    据中芯国际官网介绍,其深圳厂区位于深圳市坪山区,一期200mm(8英寸)芯片代工厂可提供从0.35μm到90nm的晶圆制程服务。“深圳厂的成功扩产能够支持更多200mm产能需求,并满足日益增长的客户及市场的需求”。
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