北方华创赵晋荣：软件和零部件不再是问题，从研发开始，

lida96 · 发表于 2020-4-6 08:11:38

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赵晋荣表示，时至今日，软件、零部件问题如何解决以及如何获得生产线的认可，这些问题对于北方华创而言都已经是过去时了。现在的问题在于，国内设备厂商如何与晶圆厂形成互相绑定的战略合作伙伴关系，让客户在工艺研发之初就接纳国内设备，与国内设备厂商共同开展验证工作，而非在研发之时全用进口设备，到生产阶段再做国产替代。
只有通过量的积累才会迎来质的改变
近年来，在国家诸多举措的推动下，中国的半导体产业迎来了迅猛的发展。在发展的过程中，也不乏有一些质疑的声音出现，对于国内近几年“疯狂建厂”的现象，有人称之为中国晶圆厂建厂的大跃进时代，并担忧国内晶圆厂会出现产能过剩的情况。
对此，赵晋荣表示，诚如魏少军教授所言，集成电路100年不过时。集成电路产业发展到现在，已经成为了一个不可或缺的东西，应用范围也越来越广泛，而且无论从高端、中端到低端来看，中国占比还非常小，每种器件都在发展当中，与国际水平相比应该是相差甚远。
赵晋荣指出，中国建了这么多厂房，但是到底有多少产线能建起来，真的开始量产，其实还是两回事。
“北方华创除了做集成电路设备以外，也在做LED、平板显示、光伏等行业相关设备。几年前，国内的LED产业和国际水平相比非常落后，产业发展过程中也是质疑声不断，但是经过几年的时间，中国已经成为了全世界最大的半导体照明国家，光伏也是一样。”赵晋荣认为，只有通过量的积累才会迎来质的改变。
赵晋荣表示，相对LED、光伏等产业而言，目前国内集成电路领域与国外相比差距非常大。但这也需要一个量的积累过程，如果量做到一定程度了，技术自然而然的就会跟上来。
此外，赵晋荣还提到，从当前的国际形势来看，动荡的国际形势也将促使中国（半导体产业）在未来几年内有更大的发展。因此，国内集成电路产业目前还谈不上产能过剩的问题。
如何让客户在工艺研发之初就接纳国内设备
谈到中国半导体设备产业与国际水平的差距，赵晋荣表示，与国外相比，中国的设备产业仍有很长的路要走。五年前，国内设备产业基本处于空白状态，国内设备与国外水平相比完全没法相提并论，很难想象到五年后的今天会是这般景象，我们也很难想象五年后国内半导体设备产业会是怎样。
赵晋荣指出，可以说，经过多年发展，中国设备产业实现了从无到有的过程。12英寸晶圆厂发展之初，有人说中国人不可能做出12英寸设备，但是北方华创2004年就出货了中国第一台刻蚀设备到中芯国际天津厂，到现在国内已有几百台设备进入12英寸生产线中。不过，大家还是认为国内设备与国外相比差距太大。
尽管如此，赵晋荣也感到很欣慰，因为大家已经开始把国内设备和国外产品相提并论。
经过多年的发展，北方华创通过量的积累也成功引起了质的变化。据赵晋荣介绍，8英寸设备方面，北方华创已经有包括刻蚀、PVD、CVD、外延、清洗包、炉管在内的30多种成熟的设备产品了。此外，在65nm、55nm、40nm等工艺制程，也有很多国内设备在12英寸生产线上使用。
赵晋荣表示，北方华创2019年12英寸设备的出货量是前面十几年的总和。受疫情影响，很多企业面临迟迟不能复工的局面。而北方华创2月10日便已正式复工，主要原因在于有大量的设备等待组装和发货。
“从目前来看，虽然在先进工艺制程的设备方面，国内厂商还无法与国外巨头相比，但毕竟中国设备产业已经取得从无到有的进步，面临的也不再是软件和零部件问题如何解决，而是如何让客户在工艺研发之初就接纳国内设备，与国内设备厂商共同开展验证工作。”赵晋荣表示，“只要我们有这个机会，我非常有信心未来在国际上占据一席之地。”
新兴应用市场将是中国厂商弯道超车的绝佳机会
随着中美贸易摩擦持续升级，国内客户对供应链的安全愈发关注，从芯片到终端，国产替代的进程都在加速。
赵晋荣表示：“此前几年，我们几十种设备的第一台都是提供给中芯国际、华虹、长鑫、长存等国内大厂使用，他们给了我们很多的支持。走到今天，获得生产线的认可这个过程已经是过去时，因为一台设备除了有性能、可靠性、良率这些问题，还包括长周期的问题，每个晶圆厂都会对此表示担心。但这是三四年前的问题，现在一台台突破，已经跨过了这个坎。”
现在面对的另一个问题，就是如何与晶圆厂形成互相绑定的战略合作伙伴关系，争取在研发的过程中，就把设备推进去。如果研发的时候全是进口设备，到生产的时候再做替代就十分有难度。
相对于成熟的应用领域，国产设备在一些新兴市场的表现更为亮眼。
赵晋荣指出，国内设备厂在基本的装备原理突破后，更多的是满足晶圆厂的特殊工艺要求。由于国内设备厂具备快速响应、快速工艺开发的能力以及成本的优势，因此在8英寸IGBT、MEMS、12英寸功率、Fan-out封装等方面，国产设备表现很好。
赵晋荣表示，在中低端应用方面，国内设备都有突破，因此，在7nm、5nm制程工艺等高端应用方面，国内设备企业都很有信心，因为大家的功课做得已经差不多了，国内设备想要突破也只是时间问题。重要的是，国内设备企业需要得到客户的信任，需要一个机会，让客户在工艺技术开发之初就接纳国内设备。
在提到中国半导体设备产业能否取得突围时，赵晋荣表示，对于国内的设备厂商而言，速度快、服务好、成本低，这些都是天然的优势，而且还背靠中国市场这一全球最大的半导体设备市场。
关键的是，目前市场上正在涌现IGBT、CIS、TSV等新兴的应用。在这些新兴的应用市场上，中国厂商并不落后。这些需要新技术支撑的新兴应用市场将是中国厂商弯道超车的绝佳机会。
此外，中国的设备企业和芯片厂商在未来最好的联动模式一定是双赢的，设备企业在未来能够为芯片企业带来好处，带来利益，才会更有前途！
赵晋荣再次表示，作为一家国产设备厂商，挑战国外巨头的最新设备产品是一个梦想，但国内厂商首先要考虑的还是如何让企业更好地存活下来。“不过，作为生存而言，中端设备的需求量也是非常大的，所以我非常有信心，在后面的几年当中有一个很大的进步。在五年前，我想象不到（北方华创）有今天的成绩，往后走困难还很多，但我们还是非常有信心，一步一步地往下做。”他总结道。
（校对/范蓉）