卡尔蔡司镜头供应不足，ASML EUV设备订单积压

shuszhao · 发表于 2017-10-17 12:59:27

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有国外媒体指出，艾司摩尔 EUV 设备生产不顺的主因，就是来自光学镜头供应商蔡司（Carl Zeiss）供货进度跟不上需求所致。
目前半导体工艺已微缩到 10 纳米以下，大家都寄望借由极紫外光微影设备（EUV）协助工艺向前发展，也使摩尔定律（Moore’s Law）再往下延伸。不过就目前生产 EUV 设备的艾司摩尔（ASML）来说，因为制造难度，已积压了大量订单在手上。有国外媒体指出，艾司摩尔 EUV 设备生产不顺的主因，就是来自光学镜头供应商蔡司（Carl Zeiss）供货进度跟不上需求所致。

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外媒报导指出，艾司摩尔 EUV 的光学镜头是德国蔡司公司生产，但蔡司的镜头供货量不足，导致艾司摩尔 EUV 极紫外光微影设备生产进度缓慢。据了解，7 月艾司摩尔出具报告，至今已积了多达 21 台 EUV 订单，每台 EUV 订单成本高达 1.5 亿美元，而 2017 年底前最多只能交付 8 到 9 台 EUV 设备。

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报导指出，根据外界预估，三星和台积电都宣布将在 2018 年试生产内含 EUV 技术的圆晶工艺，使 2017 年 EUV 设备的销售金额预计达 14.82 亿美元，这比 2016 年的 10.36 亿美元足足成长了 43%，且这个数字在 2019 年还将进一步上升到 30 亿美元。
艾司摩尔的客户都是一些半导体大厂，比如台积电、三星、英特尔（Intel）等，如果拿不到 EUV 设备，新世代工艺的生产计划必定会受影响，谁也不想看到这样的情况发生。据了解，目前 EUV 设备生产还面临一些问题需调整。除了蔡司镜头供应不足，还有芯片保护膜仍需改进。
现阶段，在三星和台积电都宣布将试产内含 EUV 技术的圆晶，反观半导体大厂 Intel 的态度则不疾不徐。虽然 Intel 不是目前第一个采用 EUV 技术量产圆晶的企业，但将来 Intel 或许会是买最多 EUV 设备的公司。

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