SEM常见图像问题。。。。。

SED图像出现边缘阴影：

电子被BED探测器接收，二次电子探测器可能有故障，可以检测collector处电压；二次电子探测器的相关部分的问题（fall to ground）。

低真空模式下的噪声：

这可能是二次电子探测器上corona ring的10KV高压没有正常关闭，而产生的放电噪音；从HV切换到LV之前，需要关闭SED模式

图像扭曲：

用示波器检查图像偏转系统的HOV和VERT；检查扫描系统电源可能的纹波污染和不稳定情况，

除了检查扫描系统HOR和VERT的波形外；检测放大控制单元的继电器是否存在异常发热。

双重聚焦

发射器尖端可能损坏，出现多个点光源

这种虚焦可能和灯丝未调节到最佳饱和点有关(K-type)

亮度变化（较大条纹）

左右/上下出现明暗条纹；可能是样品未固定好，其表面电势升高而产生的电荷聚集，亮度由束流和加速电压的情况周期变化。

亮度变化以及噪点

检测闪烁体表面是否被剥落、样品粉末无碰撞；高压入口是否损坏；pipe surface是否异常放电（杂质或者真空油脂等）

重叠条纹

镜筒污染、样品和RP泵的污染；加速电压越低现象越严重。

明暗条纹

考虑是高压电缆内部接触不良、绝缘电阻异常。

信号杂乱

可能是Image signal受到电源干扰。

信号出现纹波

除了电源对二次电子信号的干扰外；还需要考虑电源平滑电路中电解电容的工作状态（注意交流分量）。

环境干扰

磁场影响与WD成正比；与加速电压成反比；机械振动没有这个关联；其他仪器对磁场的干扰需要专业的磁场测试工具，MS可能对SEM造成干扰。

此类振动可能是源自于地板或者仪器本身的振动，可以固定damper，将其作为一个变量来比较前后的图像区别，以此判定振动是否来自机器本身。

电源噪声干扰

用示波器检测电源电路的波形，进行判断。

样品污染

样品长时间被离子束照射，与环境中的烃类物质结合，形成的污染，可以使用离子清洁器进行处理。