光刻中的Line Shape？

一、光刻中“Line Shape Defect”

    关于光刻中Line Shape Defect，其实是从缺陷的分布特征来定义的，即表现为“线条状”的缺陷，这个解释看上去很生硬，下面附图，简单认识一下。

    在形貌上来讲是比较复杂的，小编这里着重讲一下，分析形貌特征来反推造成的原因，截止到目前，我能查阅到的所有资料，以及跟各工程师的交流大概锁定在两类原因。一类是由于光阻薄膜受外界环境刮伤导致；一类是由于光阻本身的洁净度、Cot单元异常引起，下面先看由于刮伤导致的缺陷。

二、由于刮伤导致的Line Shape Defect

    如图所示，这种是典型的由于光阻刮伤导致的，可以看到刮伤的地方，光阻没了，露出了部分衬底，这种缺陷看上去是连续的。括号内容酌情参考（关于刮伤，这个分析又很复杂了，就像Particle一样，每个传动的装置都可能suffer particle，那么机台中每个装置都有可能造成刮伤，这是第一点。第二点就是刮到哪了，是成膜前刮到衬底，还是成膜后刮到光刻胶，形貌也是不一样的，可以确定的是，成膜前衬底的刮伤后，刮伤的痕迹盖上光阻后，表现为in film particle的样子，那么这种缺陷在分布特征上是line，在形貌上就是in film particle）

    上图为刮到衬底时，铺盖上光阻之后的形貌，其实这个从另外一点也可以判定是成膜之前的刮伤，还是成膜之后的刮伤，我个人经验是去看刮伤痕迹的连续性，再有就是借助光镜，小编不再细讲，给光刻的爱好者留一个帽子。好，到此为止讲了两种刮伤情况造成的line shape缺陷。

碰见刮伤，这属于非技术性问题了，基本就是各个chamber逐步排查吧，涉及到传动、抽片的每个chamber都有可能造成刮伤。

二、由于COT造成的Line Shape Defect

    由COT造成的比较简单了，它其实就是光阻的结晶、或者光阻里的颗粒等在甩胶的时候，掉到了晶圆表面，然后吧啦吧啦碎掉了，一个颗粒变成了多个颗粒。形成线性的缺陷，这类是line shape中经常发生的。如果有人抬杠硬说显影过程中，有颗粒掉落（这种情况会经常有），甩开后形成了line shape，但甩开后造成line shape状的缺陷，基本上不太可能。

三、遇到这类缺陷，如何处理？

1）控片Monitor机台Process，锁定刮伤的来源；

2）COT之前的冷板shutter刮伤衬底，进行校正或者换新；

3）传动ARM异常造成刮伤，进行校正或换新；

4）CP Shutter或者cover造成刮伤，进行位置校正或者换新；

5)COT PR Nozzle结晶掉落，管路有颗粒等污染，进行泡管，clean PR Nozzle头。

综上所述，两类原因第一是针对传动装置造成刮伤，基本是ARM跟shutter等，该校正，替换；第二是旋转单元造成污染物破碎形成，进行清洗。